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SKハイニックス、国産素材を初投入
記事入力 2019-10-02 17:30 | 記事修正 2019-10-07 15:56:11
SKハイニックスは半導体洗浄とエッチング工程で大量に使用される液体フッ化水素(フッ酸液)の国産代替素材を、一部の生産ラインに初めて投入した。

2日、SKハイニックスは「今月1日から一部の生産ラインに国産フッ酸液を投入して使用中」だと明らかにした。超高純度ガスのフッ化水素(エッチングガス)は、7月に日本の半導体核心素材の対韓輸出規制が始まって以来、現在までに断続的に輸出許可が出てきたが、液体フッ化水素はまだ一件も許可が出ないことから国内に入らずにいる素材だ。

SKハイニックスは素材多様化の次元で、日本の規制が始まる前から国内メーカーと素材に対するテストを続けてきた。今回の生産ライン投入を皮切りに、国内メーカーと別途に進行中のフッ酸液のテストが追加で完了すると、代替素材の生産ラインに対する適用は徐々に拡大していく見込みだ。

SKハイニックスはまた先月30日の輸出規制以来初めて、日本政府からのエッチングガスの輸出許可も受けたことが確認された。

[チョン・ギョンウン記者/ファン・スンミン記者]



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SK하이닉스가 반도체 세정·식각 공정에 대량으로 사용되는 액체 불화수소(불산액)의 국산 대체 소재를 일부 생산라인에 처음 투입했다. 2일 SK하이닉스는 "이달 1일부터 일부 생산라인에 국산 불산액을 투입해 사용 중"이라고 밝혔다. 초고순도 기체 불화수소(에칭가스)는 지난 7월 일본의 반도체 핵심 소재 수출규제가 시작된 이후 현재까지 간헐적으로 수출 허가가 나왔지만 액체 불화수소는 아직 한 건도 허가가 나지 않아 국내에 들어오지 못하고 있는 소재다. SK하이닉스는 소재 다변화 차원에서 일본 규제가 시작되기 전부터 국내 업체와 함께 소재 테스트를 지속해 왔다. 이번 생..


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